4 bước để cải thiện chất lượng và sản lượng sản xuất chất bán dẫn 1

Sản xuất chất bán dẫn là một trong những lĩnh vực công nghệ tiên tiến nhất và cũng là lĩnh vực tốn nhiều chi phí nhất hiện nay. Cùng với nhu cầu sử dụng các thiết bị dựa trên chất bán dẫn ngày càng tăng thì các nhà sản xuất càng cần phải có nhiều hơn các sản phẩm ​​chất lượng, mạnh mẽ. Trong khi đó, phần mềm thống kê Minitab mới được sử dụng để giải quyết một số vấn đề nhất định mà chưa tối đa hóa được các tính năng trong Minitab.

PHÂN TÍCH HỆ THỐNG ĐO LƯỜNG MSA ĐỂ GIẢM SỰ BIẾN ĐỔI TRONG SẢN XUẤT

Việc sử dụng các công cụ như thiết bị đo R&R và ANOVA để xác định sự thay đổi trong hệ thống đo lường là rất quan trọng, đặc biệt đối với sản xuất chất bán dẫn. Để chắc chắn rằng các thông số kỹ thuật có thể được đảm bảo, độ lặp lại và khả năng tái tạo của phép đo cần phải nhỏ so với dung sai thông số kỹ thuật đo được. Mô-đun Phân tích hệ thống đo lường (MSA) của Minitab có thể giúp bạn thực hiện điều này. MSA trong phần mềm Minitab cho phép mọi người dùng đều có thể đánh giá được sự thay đổi, độ lệch và độ ổn định của hệ thống đo lường một cách dễ dàng. 

KIỂM SOÁT QUÁ TRÌNH BẰNG THỐNG KÊ (SPC) ĐỂ CẢI THIỆN NĂNG SUẤT VÀ TRÁNH LÃNG PHÍ TRONG QUÁ TRÌNH CHẾ TẠO

Sử dụng các biểu đồ kiểm soát và phân tích khả năng để đo các đặc điểm quan trọng như độ dày của tấm wafer, tốc độ lắng đọng (tốc độ lắng đọng vật liệu trên bề mặt tấm wafer dưới dạng một lớp mỏng để chứa các đặc tính điện), thời gian điểm cuối (để phát hiện thời điểm dừng chính xác nhất quá trình etch để tránh quá mức hoặc quá mức etch),… sẽ giúp bạn đảm bảo rằng quá trình và thiết bị được kiểm soát. Nếu bạn đã sử dụng các phương pháp SPC, hãy sử dụng thế hệ tiếp theo của phần mềm Minitab về kiểm soát quá trình bằng thống kê để giúp cải thiện các kỹ thuật và tiết kiệm thời gian thực . 

SỬ DỤNG THIẾT KẾ THỬ NGHIỆM DOE ĐỂ CẢI THIỆN QUY TRÌNH SẢN XUẤT

Quá trình sản xuất chất bán dẫn gồm nhiều quy trình phức tạp nên ngay cả những kỹ sư có năng lực và kinh nghiệm nhất không nhất thiết phải biết đến các cài đặt tốt nhất cho thiết bị sản xuất. Hoặc ngay cả khi đã biết các cài đặt tối ưu, các công nghệ mới vẫn liên tục được áp dụng, khó tránh khỏi việc phát sinh các vấn đề mới. Trường hợp này, các Thiết kế Thí nghiệm DOE của phần mềm Minitab sẽ giúp kỹ sư xây dựng một mô hình toàn diện để giúp họ chính xác cách thức hoạt động của hệ thống. 

• Tìm hiểu thêm “Cách hoạt động của DOE đã giúp cải thiện mức độ đồng nhất trong quy trình đánh bóng của một nhà sản xuất” tại đây.
• Tìm hiểu thêm về DOE và Phân tích dự đoán (Predictive Analytics) với DOE tại đây.

SỬ DỤNG MACHINE LEARNING ĐỂ XÁC THỰC POST SILICON

Trong thử nghiệm sản xuất, chỉ cần thực hiện các phép đo để đưa ra quyết định đạt hay không đạt. Nhưng đối với quy trình Post Silicon (quy trình cuối cùng trong sản xuất chip bán dẫn), sử dụng Machine learning, sẽ giúp bạn hiểu rõ hơn mối liên hệ và mức độ phức tạp của đầu vào và đầu ra.  Căn cứ vào đó bạn có thể xây dựng mô hình dự đoán của phần mềm Minitab hoặc sử dụng các công cụ biểu đồ để chỉ ra được các yếu tố đầu vào quan trọng ảnh hưởng đến hiệu suất.